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作者：李登耀;王洪喜;薛媛;赵柏涵;王思蛟;
单位：西安工业大学机电工程学院;
摘要：基于复合簧片型柔性导向机构设计了一种大行程二维共面精密运动平台，运用材料力学弯矩变形理论分析了平台的刚度和最大行程。在满足材料最大应力约束的条件下，对导向机构进行结构参数设计，加工精密运动平台实验样机，搭建了平面度测量平台。对16mm×16mm行程内运动平面的平面度测量实验分析结果表明，x轴直线度误差为0.08μm,y轴直线度误差为0.11μm,平面度为(0.26±0.12)μm。
关键词：精密运动平台;;柔性机构;;精密测量;;平面度
基金资助：陕西省教育厅专项科研计划(21JK0682);; 陕西省自然科学基础研究计划(2021JQ-647);; 西安市科技计划项目(21XJZZ0026);; 未央区科技计划项目(202301)
