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作者：王景凡;毛斌;刘辉;黄璐琦;冯斐;何灵芝;
单位：陕西省计量科学研究院;国家市场监督管理总局重点实验室(计量光学及应用);西安邮电大学;
摘要：激光位移传感器的输出受环境温度的影响，而在其使用过程中，存在工作温度偏离校准温度的情况。为探究激光位移传感器在工作温度条件下的校准方法，利用恒温箱模拟传感器的工作温度，用激光干涉仪作为测量标准，设计校准装置。基于该装置，对同一激光位移传感器分别在实验室温度20℃与模拟工作温度（5～45℃）下开展校准试验，结果表明该方法可以跟踪不同温度下的传感器输出，试验结果线性度可达0.2%。分别用线膨胀系数较低的石英玻璃与微晶陶瓷材料作为校准装置位移传递的主要部件，并对同一激光位移传感器进行对比试验，结果表明基于微晶陶瓷材料的校准装置具有更好的时间稳定性。
关键词：计量学;激光位移传感器;位移校准装置;温度条件
基金资助：国家自然科学基金青年基金项目（52105274）; 陕西省计量科学研究院科技创新基金项目（2021JJ01）
