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作者：彭秋然;吴运权;周鹏;卢文龙;
单位：华中科技大学机械科学与工程学院;
摘要：在基于光谱共焦传感器双向对射的非透明平板厚度测量中，共焦传感器光轴与被测平板间垂直度误差对测量结果的精度具有重要影响。现有共焦传感器光轴与被测平板间垂直度误差校准方法中，由于相对倾斜角度和距离的耦合关系，需要缓慢轻微地调整机构使得当前波长逐渐逼近所需波长，再进行光强对比，实验效率低，操作上也具有很大的困难度和复杂性。因此该文提出了一种新型光谱共焦传感器光轴与被测平板间垂直度误差校准方法，可避免这一问题并迅速找到最佳垂直度位置。通过对标准样块的测量结果表明，该方法对不同样品测量误差均在1μm以内，且实验效率提高55%，对光谱共焦双向对射膜厚测量系统优化具有参考价值。
关键词：光谱共焦;厚度测量;双向对射;垂直度校准;精确测量
基金资助：国家重点研发计划政府间国际合作重点专项（2022YFE0128800）; 国家自然科学基金项目(52275533)
