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作者：周彤旭;王国峰;王家辉;李天民;
单位：哈尔滨工业大学材料科学与工程学院;哈尔滨工业大学金属精密热加工国防科技重点实验室;
摘要：激光冲击微成形是一种基于高能脉冲激光诱导等离子体冲击波实现微纳米级塑性变形的先进制造技术。系统综述了激光冲击微成形的原理及装备、尺寸效应、技术应用、最新应用拓展和局限性，并进行了总结与展望。激光冲击微成形的核心装备主要包括高能脉冲激光系统、精密运动控制系统和约束烧蚀系统等，实现高能脉冲对微纳米结构的精准成形。该技术已广泛的在微压印和微拉深等领域展开深入研究，并较为成功地用于微纳结构的制备和生产中。同时，基于该技术开发了以激光冲击微液压成形、激光冲击微气泡成形和激光冲击微铆接成形等新兴的激光冲击微成形技术，促进了激光冲击技术的多元化发展。最后基于该技术现有的发展及相关局限性，对其进行了系统性的总结与展望。
关键词：激光冲击微成形技术;;超高应变速率;;极端应变速率成形
基金资助：国家自然科学基金资助项目(52375318)
