来源：期刊VIP网 时间：
作者：孟松涛;房飞宇;柴宁;夏森彬;李超;
单位：广东机电职业技术学院先进制造技术学院;
摘要：在高质量菲涅尔透镜薄膜的卷对卷制造中，高精度辊筒模具对于将菲涅尔结构从辊筒表面精确地复制到柔性基板上至关重要，而辊筒模具质量大和尺寸长的特点导致离线测量设备很难进行辊筒模具微结构加工精度测量，因此本文提出一种在位测量及误差分离方法，针对辊筒模具菲涅尔结构的测量需求，开发一套高精度的误差分离系统。该系统结合了柔性铰链剪切平台和位置同步数据采集技术，通过错位两点法实现测量误差的有效分离。对辊筒模具菲涅尔结构进行3次重复测量，重构误差有95.45%的概率落在±0.039μm内，证明在位测量系统的测试结果具有纳米级的可再现性。
关键词：辊筒模具菲涅尔结构;;在位测量;;错位两点法;;误差分离
基金资助：广东省教育厅普通高校青年创新人才类项目（2024KQNC X312,2024KQNCX310,2024KQNCX311,2023KQNCX163,2022KQN CX182）;; 广东机电职业技术学院高层次人才项目（Gccrcxm-202310）;广东机电职业技术学院校级教科研项目（YJZD2023-30）
