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作者：杨闯;朱祥龙;康仁科;孙勇刚;谭小舰;蔡引娣;
单位：大连理工大学机械工程学院高性能制造研究所;内蒙古北方重工业集团有限公司;
摘要：针对当前无机械密封环工作面轮廓专用测量系统的问题，提出基于同轴共聚焦激光测量机械密封环工作面轮廓的方法，通过分析同轴共聚焦激光传感器的线性误差、运动轴安装位置误差等对轮廓测量精度的影响规律，开发出密封环工作面轮廓测量系统运动控制和数据采集分析专用软件，研制机械密封环工作面轮廓测量系统，并开展密封环样件工作面轮廓测量对照试验，波纹面波幅测量误差<0.5μm，倾角测量误差<0.01°，坝面平面度测量误差<0.2μm。结果表明，所研制的测量系统达到机械密封环工作面测量精度要求。
关键词：非接触测量;;机械密封;;平面度;;倾角
基金资助：辽宁省“揭榜挂帅”项目“核反应堆主泵流体动压型机械密封面检测设备研制及表面评价”
