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作者：张维嘉;刘海浪;彭治国;曾李;钟可宁;
单位：桂林电子科技大学机电工程学院;
摘要：电子回旋共振（ECR）放电系统作为电子枪束源，能有效解决传统热阴极电子枪寿命短，性能不稳定的缺陷。为探究ECR等离子体产生的电子束源时等离子体的参数变化，基于2.45 GHz,100 W的微波输入，开展ECR放电系统的仿真分析，以氩气体作为放电气体，考虑碰撞、激发、电离等过程。建立ECR等离子体放电模型，探究不同工作气压条件下ECR等离子体内的电子密度、电子温度等参数,并以此计算电子发射电流。结果表明，工作气压从0.005 Pa增加至0.04 Pa的过程中，电子发射电流从60.5 mA增加至85.2 mA，满足电子束加工所需的束源要求，为设计ECR等离子体阴极电子枪设计提供参考。
关键词：电子回旋共振;;等离子体放电;;电子枪;;电子束源;;仿真分析
基金资助：2023年广西学位与研究生教育改革课题项目(JGY2023142)
