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作者：杨传森;郭宇扬;刘迪;郑阳阳;卢耀文;王欢;宋春尧;陈俊儒;丁双;陈千睿;
单位：北京市真空计量检测工程技术研究中心;北京东方计量测试研究所;北京控制工程研究所;
摘要：为了满足半导体制造、航天工程等领域对常压和中低真空气体取样的需求，文章设计了一种适用于（10～10~5）Pa气体质谱分析的可控取样系统。系统由真空抽气模块、节流取样模块、真空测量模块、温控模块和数采与控制模块组成。通过毛细取样管和压电微调阀的两级压力可控衰减，结合双小孔流导元件的抽气流量控制，系统能够在不同压力下稳定采集气体样品。实验验证表明，该系统能够在（10～1×10~5） Pa的待取样气体压力范围内，将质谱分析室压力稳定在（1×10~(-4)～1×10~(-3)）Pa之间。系统可以与多种型号质谱计耦合，为宽压力范围气体质谱分析提供了较为可靠的取样解决方案。
关键词：真空低压气体;;压力衰减;;可控取样;;质谱分析
基金资助：北京市科技新星项目(2022115)
