我们的服务符合学术规范和道德
专业 高端让您使用时没有后顾之忧

真空科学与技术学报2025年第07期:基于液滴微流控技术的微米级厚单层多孔薄膜应变传感器制备

来源:期刊VIP网 时间:


作者:章腾泽;程世龙;章城;

单位:温州大学机电工程学院;浙江省激光加工机器人重点实验室;

摘要:文章基于液滴微流控技术制备了一种微米厚度的单层多孔电阻应变传感薄膜,并探讨了不同树脂、固化剂质量比对柔性传感薄膜变形程度的影响。结果表明,树脂与固化剂的质量比为30:1,制备的微米级厚多孔薄膜具有良好的拉伸性能,且多孔薄膜内的多孔形成单层分布,孔径大小较为一致、分布较为均匀。基于该薄膜制备的多孔电阻式应变传感器具有较宽的响应范围(50%应变),高灵敏度(GF=602.92,40%<ε<50%),低检测极限(0.1%应变)和令人满意的稳定性和耐用性(1000个动态响应),并利用该传感器即能对人体细微的生理信号和关节运动进行监测,也能对机械手抓取不同大小物体的抓握信号进行监测。因此,该传感器在可穿戴电子设备和软体机器人等领域存在一定的应用潜能。

关键词:微米级厚度;;多孔结构;;应变传感器;;人体活动检测

基金资助:浙江省自然科学基金项目(LZ24E050007);; 国家自然科学基金项目(52205600)