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作者：温福强;宋铠钰;孙灵豪;刘强;张嘉伟;
单位：北京中科九微科技有限公司;
摘要：针对高转速下磁悬浮分子泵径向位移波动量大极易失稳的问题，提出一种基于磁悬浮分子泵转子结构抑制其径向位移波动的方法。以一台1.5 kW,27720 r/min高速磁悬浮分子泵为例，建立三维计算模型，利用有限元法对转子刚体模态、弯曲模态、临界转速以及挠性支承进行耦合求解，确定转子径向位移波动频率与转速间的变化规律，在此基础上，对磁悬浮分子泵转子结构变化对其径向位移波动的影响进行分析研究，揭示影响磁悬浮分子泵转子径向位移波动的机理，确定磁悬浮分子泵转子径向位移波动频率与转子轴向长度之间的解析关系，通过与研制样机在全转速范围内径向位移波动试验对比分析，验证了仿真计算的准确性。此方法可抑制磁悬浮分子泵转子位移波动频率量在80 Hz以上，为高速磁悬浮分子泵设计提供参考。
关键词：磁悬浮分子泵;;振动;;位移波动;;有限元
基金资助：国家科技重大专项项目
