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作者：仲重光;马国军;朱勤华;张博文;王亚军;杨俊杰;
单位：江苏科技大学海洋学院;江阴捷芯电子科技有限公司;北方自动控制技术研究所;
摘要：为了实现晶圆针印图像区域边缘的高精度检测，提出一种改进区域灰度模型的亚像素检测方法。在Canny算子中使用各向异性扩散滤波代替高斯滤波，实现针印区域的像素级边缘定位；对边缘点建立9×3的子图，设计自适应加权法确定重叠像素的权值，对子图合并中的重叠像素加权，经过迭代得到构造新子图；最后，以子图中的区域灰度特征计算亚像素点，得到精确坐标。实验结果表明，改进算法可实现晶圆针印的高精度边缘检测，定位精度在0.25个像素内，在混合高斯噪声的条件下定位精度优于Canny-d、传统的Zernike矩和区域灰度模型法，具有较强的抗噪能力和稳定性，具备良好的处理效率。
关键词：亚像素;;晶圆针印;;区域灰度模型;;边缘检测;;自适应加权
基金资助：国家自然科学基金(61371114);; 江苏省研究生科研与实践创新计划基金资助项目(SJCX23_2141)
