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作者:赵以时;陈萌;罗国虎;胡永祥;刘鲁江;张崇峰;
单位:上海宇航系统工程研究所,宇航空间机构全国重点实验室;上海交通大学机械与动力工程学院,机械系统与振动全国重点实验室;
摘要:基于激光驱动微滴前向转移的工艺原理,设计并搭建一套纳秒光纤激光驱动微滴打印系统。首先使用激光扩束镜和平场聚焦镜构建光路对激光器产生的光束进行扩束与聚焦。在此基础上引入高速扫描振镜控制焦点位置,并结合两个位移台实现加工位置的确定。通过侧向视觉组件实现了转印距离的视觉标定,并利用同轴视觉组件实现加工过程的实时观测。使用该系统进行铜液滴阵列的打印,确定工艺参数。在此基础上对单线和多线的打印进行工艺规划,最终通过微滴打印修复一条50μm宽的铜导线,验证工艺方法的可行性。
关键词:系统搭建;;纳秒光纤激光;;微滴打印;;导线修复
基金资助:中国航天科技集团有限公司空间结构与机构技术实验室开放课题基金资助(YY-F805 2021 11021)