来源：期刊VIP网 时间：
作者：孙雷桔;朱冠卿;毕海林;王旭迪;谢斌平;董金奎;曹青;
单位：合肥工业大学机械工程学院;费勉仪器科技(上海)有限公司;
摘要：越来越多关于微型离子泵新思路、新想法的产生以及新结构设计的提出，为目前微型真空电子元件的工作和真空度维护等问题提供了更多的解决方法。微型电离真空计与微型溅射离子泵在结构和原理上有许多相似之处，将这两种器件结合在一起，能够同时实现两种功能并且大大减小半导体整体体积，文章在一种微型电离真空计的基础上设计了一种微型溅射离子泵，该离子泵单独作为主泵在10~(-3) Pa-10~(-4) Pa范围抽气效果良好，并可以维持系统真空度；作为辅助泵可以有效加强分子泵在10~(-6) Pa量级的抽速，其离子电流与内部真空度变化趋势相一致，因此该结构可以同时作为冷阴极电离真空计与溅射离子泵使用。
关键词：真空获得;离子泵;磁控管;微型化
基金资助：国家重点研发计划项目（2023YFF0717200）; 国家自然科学基金青年基金项目（62101172）; 中央高校基本科研业务费专项资金资助项目（JZ2024HGTG0307）; 中国博士后科学基金面上资助项目（2023M743110)
