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作者：王天鹏;郑康;谷丹丹;吕文龙;宋运康;王凌云;
单位：厦门大学;中航工业西安飞行自动控制研究所;
摘要：吸气剂对维持MEMS(Micro-Electro-Mechanical System）器件真空度起着至关重要的作用，目前常见的提升吸气剂性能的方法是在大比表面积的多孔支架上沉积吸气剂。为了验证多孔结构对提升吸气剂性能的突出作用，使用分子动力学仿真软件Lammps对薄膜型吸气剂和多孔支架吸气剂的吸附行为进行了仿真，仿真结果表明多孔支架吸气剂的吸气量是薄膜型吸气剂的2.69倍。使用磁控溅射法分别在硅和多孔镍支架表面沉积了一层Ti吸气剂，用热重法分别对两者的吸气性能做了测试，结果表明，多孔支架型吸气剂的吸气量（0.5961 mg)是薄膜型吸气剂（0.2829 mg）的2.11倍。采用定压法对两种类型的吸气剂分别做了定压法气体吸附试验，多孔镍支架Ti吸气剂的吸气容量（2.16×10~(-3) Pa·ml/cm~2）是薄膜型（6.74×10~(-4)Pa·ml/cm~2）的3.2倍。
关键词：Ti基吸气剂;分子动力学模拟;多孔镍支架;热重法;定压法
基金资助：航空科学基金项目（NO.201908068004)
