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作者:郭琦;韩琰;袁翠平;孙伟;孙立臣;孟冬辉;闫荣鑫;
单位:北京卫星环境工程研究所;
摘要:随着中国科技的进步、技术的发展,特殊工程密闭环境内的气体成分需要精确检测,被检测对象除了小质量数(200 amu以内)气体成分之外,还包含重要的有机大质量数成分;气体成分最有效的检测仪器之一就是四极质谱计,中国质谱计研发单位大多数都集中在小质量数产品的设计生产,可测大质量数(可达1000 amu)的四极质谱计设计报道很少;文章设计了四极质谱计杆长、场半径、入口孔径、装配精度等机械参数,以及射频电压、直流电压等电参数,结合机械参数和电参数对离子的运动轨迹、离子的入射能量、离子的通过率、质谱计的分辨率等指标参数进行了模拟仿真计算,设计了质量数检测上限可达1000 amu的可测大质量数四极质谱计,能满足特殊领域密闭空间的应用需求。
关键词:大质量数;四极质谱计;机电设计;仿真计算;气体分析