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作者：罗艳;王魁波;吴晓斌;李慧;谢婉露;沙鹏飞;韩晓泉;王金地;
单位：中国科学院微电子研究所;中国石油天然气股份有限公司吉林石化分公司电仪中心(检测中心);
摘要：材料表面吸附的气体分子在电子轰击作用下，会加速释放到真空系统中。为了测试在电子轰击下的材料放气特性，研制了一套电子致放气的测试装置。电子束发生器作为重要的组成部件，具有许多可调参数，这些参数会在一定程度上影响输出的电子束质量，进而影响电子致放气测试结果。文章首先通过实验测量了电子束斑和束流的影响因素，结果表明，聚焦电压和栅极电压对束斑的尺寸有直接的影响，而能量电压对电子束斑直径没有影响。此外，阴极电压、电子能量和栅极电压都可影响到发射电流，从而影响出射的电子束电流。为了验证装置的电子致放气测试能力，采用放气率很低的316 L不锈钢作为测试样品，比较测试其经过三次电子束轰击前后的放气特性。结果表明，经过除气的316 L不锈钢的电子致放气率可较明显地测定，且电子束轰击下放气的主要成分由N_2/CO变为H_2。
关键词：电子诱导解吸;放气;电子束;真空
基金资助：国家自然科学基金项目（62071464）
