来源：期刊VIP网 时间：
作者：谢焕钧;徐长云;唐令;韩明月;罗阳;李刘合;
单位：中国航发中传机械有限公司;北京航空航天大学机械工程及自动化学院;
摘要：文章采用直流磁控溅射技术制备WC-DLC耐磨涂层，为了探究C_2H_2流量对WC-DLC涂层表截面形貌、微观结构、力学和摩擦学性能的影响，在10-50 mL/min C_2H_2流量下制备了WC-DLC涂层并进行表征分析。结果表明，随着C_2H_2流量的增加，涂层中碳含量增加，晶粒逐渐细化，由柱状晶逐渐转变为细晶粒，涂层变得更加致密；涂层纳米硬度与sp~3杂化的C原子含量密切相关，随着涂层中sp~3-C含量的增加，硬度先升高然后降低，磨损率也先升高降低；随着碳原子含量升高，涂层中出现大量的非晶碳，表面晶粒非晶化，涂层的摩擦系数逐渐减小且更加稳定。
关键词：WC-DLC涂层;C_2H_2流量;纳米硬度;结合力;摩擦磨损
基金资助：国家自然科学基金项目（12275014; 12305278）; 中国博士后科学基金面上项目（2023M730180）
