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作者：罗宏博;杨来东;连潇;王建吉;朱砚;
单位：陇东学院智能制造学院;西安理工大学机械与精密仪器工程学院;金川集团股份有限公司选矿厂;
摘要：文章基于Tersoff势函数，采用分子动力学方法建立金刚石的分子模型，分析了不同熔融温度和冷却过程对原子键合结构，径向分布函数曲线和配位数的影响，从原子尺度阐明了DLC薄膜制备过程中原子形态杂化的形成机理。研究发现：DLC薄膜主要由C-sp~3和C-sp~2杂化相组成，当温度低于6000 K时，熔融和冷却基本不会使C-sp~3杂化发生结构转变，薄膜的性能比较稳定。当温度高于7000 K时，熔融过程中有大量的C-sp~3杂化原子转变为C-sp~2和C-sp~1，冷却和弛豫平衡会引起高能态C-sp~3杂化原子转变为C-sp~2,但C-sp~1杂化的含量基本不变。熔融温度主要影响DLC薄膜制备过程中C-sp~3和C-sp~2相的百分比含量，当体系中C-sp~2含量超过40%，薄膜的性能将趋向于石墨。
关键词：分子动力学;熔融温度;径向分布函数;配位数;类金刚石;杂化
基金资助：庆阳市科技计划青年基金项目（QY-STK-2022A-018）; 甘肃省重点研发计划项目（23YFNM0002）
