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作者：叶俊锋;王玉青;王旭迪;梅正卫;毕海林;吴慕遥;
单位：合肥工业大学机械工程学院;合肥工业大学汽车与交通工程学院;
摘要：高真空获得及维持技术对微纳材料制备、微电子设备制造、真空电子器件工艺优化等领域的科学研究及工业应用至关重要。文章面向高真空获得及维持过程中吸气材料吸气机理解析及寻优材料替代之关键科学问题，致力于克服传统高真空技术维持高真空状态能耗高、传统高真空获得方法依赖于昂贵设备和复杂操作等缺陷，提出了一种基于玻璃破碎新鲜表面诱发高真空获得及压力下限突破的新方法；文章首先开展了吸气成分及分压力测试实验及最大有效抽速实验研究。实验结果表明新鲜玻璃破碎表面具备吸气效应；解析玻璃新鲜表面吸附的主要气体成分及分压力变化，剖析出主要吸附气体组分为氢气和氮气；定量评估了新方法的抽气能力，利用蒙特卡洛方法仿真分析了泵出口管道的传输概率，获得新方法的最大有效抽速。相比现有真空获得和维持技术，文章所提出的新方法具有易激活、材料性价比高、抽速可观等优势，有助于为狭小空间高真空获得及维持提供新型技术途径及应用有效性参考。
关键词：高真空获得;新鲜表面诱发;快速抽气;最大有效抽速
基金资助：安徽省自然基金面上项目（2308085MF198）; 国家自然基金面上项目（62271187）
