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作者：张旭;赵锐;石云波;祖凯旋;张洁宇;闫晓朋;
单位：中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;山西北方机械制造有限责任公司;
摘要：针对外弹道信息测量过程中，低量程微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)加速度传感器在上万g_n过载环境下的损坏问题，提出了一种仿虾螯式抗冲击微加速度传感器，可以实现抗过载30 000g_n、量程50g_n的指标要求。有限元仿真结果表明，在50g_n载荷作用下，加速度计敏感单元位移为0.99μm,灵敏度为0.124 pF/g_n;引入仿虾螯式抗冲击缓冲结构的加速度传感器在30 000g_n过载作用下承受的等效应力的最大值从1 022.5 MPa降低至84.326 MPa,有效地提高了该传感器件的可靠性。
关键词：加速度计;;抗冲击;;电容式;;低量程;;仿生缓冲结构;;微机电系统
基金资助：山西省基础研究计划面上项目(202103021224206);; 国家自然科学基金面上项目(52175524);; 山西省“1331工程”重点学科建设项目资助~~
