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作者：郭建新;王富;段书兴;朵志金;闫小兵;
单位：河北大学电子信息工程学院和物理科学与技术学院河北省类脑神经器件与系统重点实验室;
摘要：该研究设计了一套综合性实验体系，系统探究SrRuO_3(SRO)、LaNiO_3(LNO)和LaSr_(0.5)Co_(0.5)O_3(LSCO)三种氧化物电极对Pb(Zr_(0.4)Ti0._6)O_3(PZT)外延薄膜结构及物理性能的影响。通过集成铁电电容器制备技术、先进表征手段与实践教学需求，构建了涵盖薄膜沉积、界面工程、性能测试与机理分析的全流程实验框架。采用溶胶-凝胶法及磁控溅射技术制备了不同电极的PZT异质结，结合X射线衍射、原子力显微镜和拉曼光谱技术解析了薄膜的微观结构与界面特性，并通过铁电测试仪、介电谱仪和漏电流测试系统综合评估了它们的极化响应、介电行为及可靠性。实验通过“材料设计-工艺调控-性能优化”全链条实践教学体系，强化了学生在功能材料与器件领域的创新思维和工程实践能力。
关键词：PZT外延薄膜;;铁电极化强度;;表征分析;;界面应力
