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作者：赵睿;刘莹玉;杨宇军;吴道伟;
单位：西安微电子技术研究所;
摘要：针对无线通信系统对高频化和集成化滤波器的需求，提出一种高频薄膜体声波滤波器设计方法。基于空腔型薄膜体声波谐振器（FBAR）结构，在空气腔上方建立有效压电复合薄膜结构模型，通过COMSOL Multiphysics仿真分析FBAR各层结构对频率特性的影响。结果显示，电极和压电层厚度显著影响谐振器性能，支撑层在高频下对频率偏移也有显著影响。通过多物理场仿真得到谐振器在6～9 GHz的阻抗特性并提取模型参数；然后基于先进设计系统（ADS）电路仿真软件搭建了谐振器的MBVD等效电路模型，通过场-路拟合修正了模型中的电路参数；再将修正后的MBVD电路模型封装为谐振器模块，用于后续滤波器的快速设计。采用封装好的谐振器模块搭建一阶滤波器电路，分析不同滤波器结构的优点，为高频FBAR滤波器的设计和优化提供了理论支持。
关键词：薄膜体声波谐振器;;高频滤波器;;多物理场仿真;;等效电路模型;;先进设计系统;;MBVD
基金资助：国家重点研发计划项目（2023YFB4404105）
