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作者：孙德辉;韩文斌;李陈哲;彭立果;刘宏;
单位：济南大学前沿交叉科学研究院;山东恒元半导体科技有限公司;山东大学晶体材料国家重点实验室;
摘要：铌酸锂单晶薄膜(LNOI)在新一代信息技术中关键通信器件领域的作用日益显著，随着铌酸锂单晶薄膜制备技术和光子集成技术的发展，降低芯片成本、增加芯片集成度是光子集成芯片永恒不变的发展方向，因此迫切需求大尺寸铌酸锂晶体。本文讨论了大尺寸坩埚中熔体自然对流随着液面下降的变化规律，研究了8英寸(1英寸=2.54 cm)铌酸锂Z轴、X轴两个提拉方向的生长特点，获得等径尺寸大于φ210 mm×50 mm的8英寸Z轴、X轴铌酸锂晶体。1 mm厚X轴铌酸锂晶圆的透过率显示波长380～3 300 nm光谱的透过率超过了70%,晶片纹影图像显示晶体中存在折射率脉理缺陷。
关键词：铌酸锂;;8英寸;;自然对流;;提拉法;;折射率脉理
基金资助：山东省自然科学基金重大基础研究项目(ZR2021ZD20);; 国家自然科学基金(51802113);; 山东省高等学校青创团队计划;; 中央引导地方科技发展专项资金(YDZX2022074)
