来源：期刊VIP网 时间：
作者：段雨濛;贾曰辰;吕金蔓;
单位：深圳技术大学工程物理学院,超强激光应用技术研究中心,深圳市超强激光与先进材料技术重点实验室;山东大学物理学院,晶体材料研究院;
摘要：本文采用飞秒激光微纳加工技术在铌酸锂(LiNbO_3)晶体中成功制备了直径为30、40和50μm的半包层波导，并通过端面耦合技术对其导波性能进行测试，得出半包层波导在633、1 550 nm波长下具有优良的传输性能，且仅支持TM偏振方向传输，具有单偏振性；通过计算波导的传输损耗，得出了30μm直径的波导在633及1 550 nm波长下传输性能最佳。并且通过Rsoft软件理论计算，证明了实验结果的合理性。本研究结果为光波导设计和性能优化提供了重要的参考，具有一定的实验和理论价值。
关键词：飞秒激光微纳加工;;光波导;;铌酸锂晶体;;半包层波导;;1 550 nm波导;;单偏振态
基金资助：国家自然科学基金(20211062020035,12134009)
