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作者：陈力;周旭东;袁明瑞;肖恢芙;田永辉;
单位：兰州大学物理科学与技术学院;
摘要：绝缘体上铌酸锂(LNOI)是实现高速光子集成回路(PICs)的理想平台。通过充分利用铌酸锂(LN)的优势，LNOI平台能够实现高速电光和高效非线性光学集成器件。偏振分束器(PBS)作为分离和组合两种正交偏振光模式的关键无源器件之一，在实现片上偏振复用系统并提升光通信系统数据传输容量方面发挥着至关重要的作用。近年来，基于不同结构的PBS已经被成功实现，其中，基于亚波长光栅辅助定向耦合结构的PBS表现出优异的器件性能和紧凑的器件尺寸。本文基于氮化硅-铌酸锂异质集成的间接刻蚀方案，实现了一种亚波长光栅辅助定向耦合结构的高性能PBS。仿真结果表明，当波长在1 500～1 600 nm时，器件的偏振消光比均大于24.49 dB。实验数据进一步证实，当波长在1 500～1 580 nm时，器件偏振消光比均大于18.06 dB。
关键词：薄膜铌酸锂集成光子学;;氮化硅-铌酸锂;;偏振调控器件;;偏振分束器;;亚波长光栅;;定向耦合器
基金资助：甘肃省自然科学基金重点项目(23JRRA1026);甘肃省自然科学基金在站博士后专项项目(23JRRA1126)
