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作者：刘昊;赖磊捷;
单位：上海工程技术大学机械与汽车工程学院;
摘要：为了解决音圈电机驱动柔性微定位平台驱动力小和低阻尼谐振等问题，本文采用两侧音圈电机的推拉模式来提升驱动力的大小，并且利用内环阻尼控制器结合迭代学习控制方法来实现平台的精准控制。首先，搭建了互补配置的双音圈电机驱动双平行四边形柔性机构的微定位平台。其次，设计了内环阻尼速度反馈控制器。然后，采用逆模型迭代学习控制方法来进一步消除周期性的干扰和误差。最后进行了跟踪实验。结果表明：在跟踪1 Hz和2.5 Hz的正弦波时，相比于PI控制，最大误差分别减少74.6%和68.6%,满足微定位平台精准控制的要求。
关键词：阻尼控制;;迭代学习控制;;微定位平台;;音圈电机;;柔性机构
基金资助：国家自然科学基金项目(51605275);; 上海自然科学基金项目(21ZR1426000);; 机械系统与振动国家重点实验室课题项目(MSV202210)
