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作者：朱静雪;孟青;郭志全;赵静楠;杨嫄;
单位：天津科技大学机械工程学院;天津市轻工与食品工程机械装备集成设计与在线监控重点实验室;中国特种设备检测研究院;
摘要：为检测生物大分子，设计一种阵列微悬臂梁传感检测系统。该系统利用光杠杆原理，通过硅基微悬臂梁检测生物大分子。将恒温系统与反应池集成，实现系统的一体化，并使用微移动平台在阵列微悬臂梁间移动光斑。检测平台搭建完成后，对系统进行了调试，并评估了其稳定性和精度。研究表明，传感器的实际分辨率可达0.03μm,利用双金属微悬臂梁的热效应检测出整个传感系统的精准度为96.1%。其分辨率和整个传感系统的精准度已通过双金属微悬臂梁的热效应得到证实，均达到预期的目标。
关键词：微悬臂梁;;传感器;;光杠杆原理;;热效应
