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作者：翟玉卫;刘岩;王强栋;银军;李灏;杜蕾;吴爱华;
单位：中国电子科技集团公司第十三研究所;
摘要：针对脉冲工作条件下微波功率器件瞬态结温测试需求，开发了具备50 ns时间分辨率的热反射热成像测温装置。基于LED光源，采用较短的双同轴屏蔽线缆连接光源与驱动电源，减小了线缆阻抗和外部电磁干扰的影响，实现了50 ns照明脉冲输出。提出插入监控帧的脉冲窗函数控制时序及算法，抑制了光强漂移对测温结果的影响。选择一个与GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)栅极材质相同的金属微带电阻作为被测件(DUT),对其施加1μs脉宽的电激励。采用瞬态热反射热成像测温装置测得其温度上升时间为1.0μs,且能明显区分50 ns时间间隔的温度变化。
关键词：瞬态热反射热成像;;时间分辨率;;脉冲窗函数平均;;金属微带电阻;;光强漂移
