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作者：张现磊;李立谦;周涛;张志林;
单位：洛阳鸿泰半导体有限公司;
摘要：n型衬底扩散片扩散深度(X_(jn+))是n~+/n~-型硅衬底扩散片最重要的参数之一，X_(jn+)的理论计算对磷扩散生产和X_(jn+)测试具有重要的指导意义。但现有扩散理论计算结果与实验数据差异较大，需更精准的计算方法。通过实验对X_(jn+)的测试与理论计算结果进行对比分析，引入了修正系数k_n与k_p,得到理论计算与测试结果吻合的X_(jn+)计算方法。并根据修正后的计算方法对染色法测试X_(jn+)进行了优化。新的X_(jn+)计算方法得到的结果与测试结果差异小于2%,可用于指导生产，且优化后的X_(jn+)测试方法更加便捷。
关键词：衬底扩散片;;扩散系数修正;;协同扩散;;n型衬底扩散片扩散深度(X_(jn+))计算;;X_(jn+)测试方法优化
基金资助：三维半导体材料及应用项目(2201020A)
