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作者：赵磊;吴雨菲;刘吉梓;吴森达;祖莉;吴志林;
单位：南京理工大学机械工程学院;南京理工大学材料科学与工程学院;中国人民解放军陆军装备部驻南京地区军事代表局;
摘要：三维原子探针是一种先进的材料表征设备，可用来分析样品在纳米尺度空间中化学元素的分布及含量。为克服目前人工制备三维原子探针纳米针尖样品效率低、质量差的问题，该文设计了金属纳米针尖制备专用装置，分为粗抛、清洗和精抛三个部分，通过电控系统实现制备过程的自动化。使用该装置分别制备了5种金属材料（Al、Al基合金、Mo、Fe基合金、Ti合金）的纳米针尖，制备出的纳米针尖质量高，且制备效率高、成功率高。该装置可用于实验室纳米针尖的制备，也可用于材料分析与测试相关领域的实验教学工作。
关键词：三维原子探针;;纳米针尖;;电化学抛光;;专用制样装置
基金资助：教育部产学合作协同育人项目（220604598164438）;; 江苏省高校“青蓝工程”（苏教师函[2023]27号）
