我们的服务符合学术规范和道德
专业 高端让您使用时没有后顾之忧

半导体技术2025年第03期:用于苯系物快速分离的微型气相色谱柱

来源:期刊VIP网 时间:


作者:李文博;祝雨晨;李之睿;马少杰;曾睿;赵斌;冯飞;

单位:中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室;成都中医药大学智能医学学院;

摘要:苯、甲苯、乙苯和二甲苯等苯系物(BTEX)因化学性质相似、分子结构相近,通常难以快速分离。基于微电子机械系统(MEMS)技术研制了一种以SE-54为固定相的含有高密度椭圆柱阵列的微型气相色谱柱(μGCC),该μGCC表面积大、深宽比高。研究结果表明,所研制的μGCC最快能在55 s内分离苯、甲苯、对二甲苯和邻二甲苯这四种苯系物,且四种苯系物的分离度均大于1.5,实现了对苯系物的快速基线分离,且柱前压仅为8.71 psi(1 psi≈6.895 kPa),有利于将其应用于便携式气相色谱系统。该μGCC有望在苯系物现场实时检测领域获得广泛应用。

关键词:微型气相色谱柱(μGCC);;高密度椭圆柱阵列;;快速分离;;苯系物(BTEX);;微电子机械系统(MEMS)

基金资助:新一代人工智能国家科技重大专项(2018AAA0103100);; 上海科技创新行动计划医学创新研究专项(22Y11900600)