我们的服务符合学术规范和道德
专业 高端让您使用时没有后顾之忧

半导体技术2025年第11期:基于Pd修饰SnO_2的三乙胺气体传感器

来源:期刊VIP网 时间:


作者:王振宇;丁海珍;王渝鑫;郭子政;谭烁君;赵静;

单位:大连理工大学化工海洋与生命学院;艾美诚信生物制药有限公司;

摘要:采用溶剂热法和煅烧合成了金属有机框架(MOF)衍生Pd修饰的SnO_2复合材料,以此为基础制作了纯SnO_2和一系列Pd/SnO_2气体传感器。使用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜和X射线光电子能谱仪对样品进行表征,结果显示Pd的修饰使复合材料中氧空位含量有所增加,而复合材料的晶相结构及形貌未发生显著变化。气敏测试结果表明,Pd/SnO_2-0.2%传感器在160℃下对50×10~(-6)体积分数的三乙胺(TEA)的响应为700,并且可以快速响应(3 s),同时具有良好的选择性和较低的检测限(1×10~(-6)),其优异的气敏性能归因于Pd的催化作用和溢出效应。本研究结果可为高性能TEA气体传感器研究提供参考。

关键词:SnO_2;;Pd;;溶剂热;;三乙胺(TEA);;金属有机框架(MOF)