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半导体技术2025年第11期:高频GaN功率放大器MMIC芯片级热设计

来源:期刊VIP网 时间:


作者:崔朝探;仵志达;芦雪;焦雪龙;杜鹏搏;

单位:河北新华北集成电路有限公司;河北省卫星通信射频技术创新中心;

摘要:随着GaN功率放大器单片微波集成电路(MMIC)向高频、大功率方向发展,器件热耗不断增加,散热问题已成为制约电子器件性能提升的关键因素。采用有限元热仿真方法,将热设计应用于电路层面。通过优化单胞管芯栅宽、栅指数量及管芯排布方式,减小了热耦合效应,显著提升了放大器芯片的散热能力,优化后芯片峰值结温降低了28.05℃。采用红外热成像仪对47~52 GHz功率放大器芯片进行结温测试,测试与仿真结果高度吻合,误差在3%以内。相关成果可用于优化和指导芯片散热设计。

关键词:GaN功率放大器单片微波集成电路(MMIC);;芯片级散热;;有限元热仿真;;电路层面;;热耦合效应