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半导体技术2025年第11期:基于腔体匹配结构的40GHz HTCC封装外壳设计

来源:期刊VIP网 时间:


作者:赵民鹏;乔志壮;金浓;

单位:中国电子科技集团公司第十三研究所;西安电子科技大学电子工程学院;

摘要:陶瓷封装器件中,微波信号经内部带状线传输至外部焊盘,焊接处由表层传输转为埋层传输,易引发阻抗失配,导致微波性能劣化。设计了一款集成腔体匹配结构的40 GHz高温共烧陶瓷(HTCC)封装外壳,通过引入空气腔结构调控介质的介电常数,实现了传输通道的阻抗匹配。通过仿真分析对比了有、无腔体对陶瓷封装外壳传输性能的影响,并完成了样品的制备与测试。测试结果表明,DC~40 GHz频段内,腔体调制后回波损耗小于-15 dB,插入损耗小于1 dB。

关键词:腔体;;阻抗匹配;;差分传输;;高温共烧陶瓷(HTCC);;电磁仿真