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半导体技术2025年第04期:时序优化的瞬态热反射成像测温技术

来源:期刊VIP网 时间:


作者:夏力;商娅娜;陈娜;刘书朋;刘勇;庞拂飞;王廷云;

单位:上海大学通信与信息工程学院;

摘要:为消除光源波动对热反射测量的干扰,提出一种时序优化的瞬态热反射成像测温方法。该方法在触发光源信号与激励信号之间交替实现两者的同步与延迟,从而实现瞬态热反射成像。为验证该方法,使用尺寸小、热导率高的硅芯石英包层光纤作为样品,得到硅芯在一个温度变化周期内的反射率变化与平均反射率的比值(ΔR/R_0)为-5.98×10~(-4),而相同测量时间内光源波动导致的该比值为-2.17×10~(-2),证实了该方法能够减小光源波动的影响。并对硅芯进行光热瞬态测温实验验证,动态描绘硅芯在激光脉冲作用下的升温过程,得到其温度变化在120 ms时刻达到最大值1℃,时间分辨率为20 ms。

关键词:瞬态热反射成像;;反射率;;光源波动;;时序优化;;硅芯石英包层光纤

基金资助:国家自然科学基金(62175142);; 高等学校学科创新引智计划(111计划,D20031)