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半导体技术2025年第04期:塑封SiC功率器件在高温损耗功率下的热应力和断裂分析

来源:期刊VIP网 时间:


作者:傅朝;王珺;

单位:复旦大学材料科学系;

摘要:塑封SiC功率器件是新能源汽车电力电子技术的核心,其在高温环境、高功率下工作的可靠性是关键问题。对具有顶部散热结构的塑封SiC功率器件,考虑高温环境下芯片的损耗功率,利用有限元分析(FEA)研究了热应力分布,并采用虚拟裂纹闭合技术(VCCT)分析了塑封器件的界面断裂问题。结果表明,塑封器件热应力集中在芯片和焊料层界面,较薄的芯片和适当增厚的焊料层可有效降低界面的断裂风险;当预裂纹长度超过100μm时,芯片和焊料层界面裂纹可能扩展;裂纹前缘更易形成弧形;裂纹扩展与张开、剪切和撕裂三种断裂模式相关,对面外相位角分析发现撕裂模式在裂纹边角处占比更高,而裂纹中间区域以剪切模式为主。

关键词:SiC;;断裂;;热应力;;极端工况;;有限元分析(FEA);;虚拟裂纹闭合技术(VCCT)

基金资助:国家自然科学基金(61774044);; 教育部创新平台专项