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半导体技术2025年第06期:基于MOF衍生NiO中空纳米微球的室温NO_2气体传感器

来源:期刊VIP网 时间:


作者:李栋辉;韩丹;桑鲁骁;菅傲群;桑胜波;

单位:山西省能源互联网研究院;太原理工大学集成电路学院;山西省六维人工智能生物医学研究院;

摘要:NO_2是大气污染中最常见的有毒气体之一,快速准确地探测NO_2对环境保护和人类健康具有重要意义。金属有机框架(MOF)是一类具有高比表面积和丰富活性位点的新型结构,可经加热锻烧去除有机配体,衍生出对应的中空多孔金属氧化物,是目前室温气体传感器领域优异的敏感单元候选。利用便捷高效的一步水热法及热退火工艺制备出基于MOF衍生NiO中空纳米微球的室温NO_2气体传感器,并结合结构和形貌表征手段证明其成功制备。气敏测试结果表明,所制备的传感器在室温下对NO_2具有优异的响应恢复特性,检测限为0.5×10~(-6),并通过能带结构分析了整个气体传感过程。所制备的MOF衍生NiO中空纳米微球传感器为实现室温NO_2气体传感提供了理想的解决方案。

关键词:NiO;;气体传感器;;纳米微球;;中空多孔结构;;室温传感

基金资助:国家自然科学基金(62031022,52375572);; 中央引导地方科技发展资金项目(YDZJSX2024D020);; 太原市关键核心技术攻关“揭榜挂帅”项目(2024TYJB0126)