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作者：刘亚运;顾佳晨;蒋超伟;贾繁硕;姜宁;蒋立伟;
单位：苏州大学机电工程学院;江苏芯梦半导体设备有限公司;
摘要：随着气液两相流喷嘴清洗技术在晶圆清洗中的不断推广，气液两相流喷嘴在不同气液参数下对湿法清洗晶圆效果的影响变大，为此对气液两相流喷嘴进行喷雾特性实验和研究。基于单因素实验方法，将去离子水(DIW)和氮气(N_2)作为喷嘴的两种工作流体。实验结果表明，在去离子水体积流量一定的情况下，随着氮气体积流量的增加，去离子水液滴直径随之减小；冲击力随之增大，且基本不随液体体积流量变化而变化；雾化角随之减小。对气液两相流喷嘴的喷雾特性进行测试，为喷嘴清洗技术清洗晶圆的工艺参数提供数据支撑。
关键词：气液两相流喷嘴;;液滴直径;;冲击力;;雾化角;;晶圆清洗
基金资助：国家自然科学基金(52305495,52075354)
