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作者：马吉建;
单位：广西机电职业技术学院工程训练学院;
摘要：为获得给定范围内磁控溅射薄膜表面力学性能加工参数的最优区间，以42CrMo为基体进行沉积MoS_(2-)Ti薄膜，并设计了正交试验。根据田口理论与变异系数的基本特性，分析了加工参数对薄膜力学性能的显著影响，构建了磁控溅射薄膜力学性能的指数回归预测模型，并进行了显著性检验；基于预测模型确定了磁控溅射试样表面力学性能对加工参数的敏感度，得到了加工参数的优选区间。结果表明：加工参数对薄膜表面力学性能的显著性顺序为：沉积温度>沉积功率>沉积气压；指数回归模型在置信区间上的相关系数与调整相关系数均在95%以上，证明了模型的可行性；加工参数存在优选区间，包括：沉积功率优选区间为[230,280] W,沉积温度优选区间为[200,250]℃,沉积气压优选区间为[1.4,1.8] Pa,进一步为磁控溅射薄膜表面力学性能的控制提供了理论基础与依据。
关键词：磁控溅射;;力学性能;;田口理论;;敏感度;;优选区间
基金资助：广西机电职业技术学院2021年资助项目(2021YKYZ008)
