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作者：吴豫席;杨依领;吴高华;杜慧林;魏燕定;
单位：宁波大学机械工程与力学学院;浙江大学机械工程学院浙江省先进制造技术重点实验室;
摘要：为了实现微纳操作任务中所需的高精度、纯中心旋转运动，采用单个压电驱动器致动二级柔顺放大机构，设计了一款单层、纯中心柔顺旋转平台。与传统压电旋转平台相比，所设计的旋转平台具有无驱动冗余、固有频率高、旋转角度大和结构紧凑优点。结合伪刚体法和有限元法，建立了旋转平台的静力学与动力学模型，并利用Ansys软件对输出转角、输入刚度、输出刚度和固有频率进行仿真。最后搭建实验测试系统，通过多组实验测试平台性能，并利用前馈控制补偿压电迟滞现象。实验结果表明，平台旋转角度为16.8 mrad，固有频率为527.3 Hz，分辨率为0.3μrad，前馈控制能有效补偿迟滞非线性，实现高精度纯中心旋转操作。
关键词：压电驱动;;柔顺机构;;纯中心旋转;;大行程
基金资助：浙江省自然科学基金项目(LY22E050002);; 国家自然科学基金项目(51805276,51975517,51905479)资助~~
