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作者：马强;王锐;吴伟;马思阅;
单位：中国电子科技集团公司第三十八研究所;
摘要：在需要大带宽和低损耗的微波传输系统中，微电子机械系统(MEMS)工艺参数对矩形微同轴结构的射频(RF)性能影响较大。仿真分析了该微同轴内部导体表面粗糙度、内导体宽度、侧壁倾斜度与传输损耗、特性阻抗等射频参数的关系。结果表明，表面粗糙度增大导致传输损耗单调增大，内导体宽度减小和侧壁倾斜度增大均导致特性阻抗变大。通过工艺实验验证了仿真结果并优化了相关参数。制作了矩形微同轴功分器、多零点带通滤波器样品并进行测试，验证了理论分析和工艺实验结果的一致性。本文研究结果可为下一代高频微系统的发展提供技术支持。
关键词：矩形微同轴;;微电子机械系统(MEMS);;工艺参数;;功分器;;滤波器
