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作者：万里鹏;赵道木;
单位：南昌大学物理与材料学院;浙江大学物理学院;
摘要：部分相干光束聚焦对于培养学生在光刻、光学成像领域的实验能力至关重要。提出一种基于实验可视化的虚拟仿真教学方法。利用快速傅里叶变换以及相干模式叠加技术，设计实验虚拟仿真教学系统，直观地展现部分相干光束不同条件下的聚焦过程及影响因素。通过调整光束参数以及聚焦系统特性，观察聚焦光斑的光强分布以及变化。实践表明，该实验仿真突破了实验操作要求高及可调性弱的难点，可视化、互动性在实验教学中具有明显优势，可有效提高实验教学效果，增强学生对光刻及光学成像中部分相干光聚焦原理的理解。
关键词：部分相干光束;;聚焦;;可视化虚拟仿真;;实验教学;;互动式学习
基金资助：国家自然科学基金项目(62305146);; 江西省科技厅自然科学基金项目(20232BAB211031)
