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作者：叶孜崇;靳琛垚;江堤;张炜;
单位：中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所;中国科学技术大学科学岛分院;
摘要：本文为针对多温度麦斯威尔电子能量分布（EEDF）等离子体中的朗缪尔探针诊断的一篇简短讨论，重点探讨朗缪尔探针伏安特征曲线在双及三温度麦斯威尔EEDF的等离子体情况中的数据分析方法。本文通过模拟多麦斯威尔EEDF等离子体中形成的朗缪尔探针伏安曲线，重点演示并探讨常见的、过度简化的单麦斯威尔EEDF拟合及其他常见的错误分析方法所造成的电子温度误差，并对相关误差给出定量的估算方式。然后，本文以模拟计算的朗缪尔探针伏安曲线，辅以真实实验的朗缪尔探针伏安曲线数据，演示在多温度麦斯威尔EEDF等离子体的朗缪尔探针伏安曲线中如何处理离子饱和流、电子饱和流、空间电荷效应及如何分辨并分别分析每一个电子群的温度及密度，从而正确获得等离子体中的双及三温度麦斯威尔EEDF信息。
关键词：等离子体诊断;;朗缪尔探针;;电子能量分布;;伏安特征曲线;;电子温度
基金资助：National Natural Science Foundation of China(12275305;12205334);; China Postdoctoral Science Foundation (GZB20240755;2024M763308);; The Director Funding of Hefei Institutes of Physical Science,Chinese Academy of Sciences(YZJJ2022QN19)~~
