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作者：成烨;龙建飞;罗威;王嘉彬;黄丹;徐禄祥;郭宁;杨威;
单位：国科大杭州高等研究院基础物理与数学科学学院;国科大杭州高等研究院引力波太极实验室(杭州);国科大杭州高等研究院浙江省引力波精密测量重点实验室;重庆科技学院电气工程学院;
摘要：如何获得高精度标定力是微牛级推力测量的重要基础。本文构建了C型磁路结构和矩形线圈组合方式以产生高精度宽范围电磁标定力。利用有限元方法分析了该装置特征区域磁场分布，对矩形线圈与磁体相对位置影响进行了讨论，最后搭建标定实验平台并进行标定实验。得到主要结论：在特征区域范围内磁场分布均匀性较好，最大差异率仅为0.7%；电流在10μA～20.2 mA范围调节时，电磁力标定范围为0.097～237.32μN，实验测量数据与仿真结果最大误差为1.73%；当线圈电流分辨率为10μA时，标定力实测分辨率优于0.1μN。
关键词：微推力测量;;微牛级;;电磁力标定;;系统参数标定;;仿真模拟
基金资助：国家重点研发计划（2021YFC2202700）;; 国科大杭州高等研究院自主项目（2022ZZ01009）;; 重庆市教委科学技术研项目（KJZD-K202101506）;; 湖南省自然科学基金（2021JJ30564）~~
