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作者：段北晨;吴海辰;张蕾;陈国新;柯培玲;
单位：中国科学院宁波材料技术与工程研究所公共技术中心;
摘要：为了解决聚焦离子束（Focus Ion Beams,FIB）制备平面透射样品时面临的难度大、成功率低等问题，提出了一种倒立的立体等腰梯形状的透射样品薄片模型。该模型在不破坏透射样品薄区结构完整性的前提下，通过抬高薄片底部截断沟槽的位置并缩小其面积（减少54%），从而缩短了截取时间。这种技术不仅减轻了高能离子束对样品的损伤，还削弱了加工过程中产生地再沉积效应，显著提高了平面透射样品薄片的制备效率及成功率。此外，在减薄过程中，通过在薄片上表面定点沉积细棒状碳层来标记待测试薄膜的位置，确保目标试样能够完整地保留于透射区内，实现了可定位区域的精准减薄。这种基于FIB的技术适用于多种材料体系，特别是对二维薄膜材料的平面透射样品制备尤为有效。
关键词：聚焦离子束;;平面透射电子显微镜样品;;精准定位;;二维薄膜
