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作者：梁健明;龙建飞;王嘉彬;周炜杰;丛麟骁;徐禄祥;郭宁;
单位：国科大杭州高等研究院基础物理与数学科学学院;国科大杭州高等研究院引力波太极实验室(杭州);中国科学院大学杭州高等研究院;
摘要：为研究微牛级电磁标定力装置动态响应特性，建立电磁标定力物理模型，分析激励电流频率、幅值及自身电感对动态标定力影响；利用有限元方法仿真获得正弦激励电流作用下的电磁力动态特性；搭建了实验装置并进行动态标定实验。研究结果表明：正弦激励电流低频作用下，电磁力装置产生的标定力大小与激励频率几乎无关，而当激励频率超过50 k Hz时，线圈电流的感抗作用逐渐增强进而影响标定力。采用高精度电子天平对低频激励下电磁力进行标定，当激励频率为0.01 Hz时，对测试采样数据进行正弦曲线拟合，其拟合值R2为0.998 95，具有较好拟合度；当激励频率超过0.8 Hz时，受限于电子天平灵敏度，导致采样曲线正弦拟合度出现较大偏差；电磁标定力主频率与激励频率具有良好的跟随性，两者频率线性拟合方程斜率k=1.006 94±0.001 98；电磁标定力测试结果与仿真结果相差为0.07%～2.16%，计算得到标定力扩展不确定度约为1.02%。
关键词：微推力器;;微牛级;;电磁力标定;;动态响应;;仿真分析;;标定实验
基金资助：国家重点研发计划（2021YFC2202700）;; 国科大杭州高等研究院自主项目（2022ZZ01009）;国科大杭州高等研究院青苗计划项目（2024HIAS-Y006）~~
