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作者：马吉建;
单位：广西机电职业技术学院工程训练学院;
摘要：为提高磁控溅射薄膜表面完整性的综合性能，以42CrMo为基体、MoS2-Ti为镀层设计正交试验，基于试验数据和主效应分析法探索了加工参数对表面完整性的影响规律；利用田口理论基本特性研究了加工参数对表面完整性的显著性；通过信噪比-灰色理论计算了表面完整性的灰色关联度，建立了其多元回归预测模型并进行方差分析，最终获得了最优加工参数组合。结果表明：表面粗糙度随溅射功率、沉积温度增加而减小，随沉积气压增加而增加，残余压应力与硬度皆随溅射功率、沉积温度、沉积气压增大而增大；溅射功率对表面完整性的影响最大，沉积温度次之，沉积气压最小；多元回归方程的相关系数均在95%以上，证明了模型的可靠性；最优加工参数组合为溅射功率300 W,沉积温度240℃,沉积气压1.0 Pa。
关键词：磁控溅射;;主效应分析;;田口理论;;多元回归;;灰色关联度
基金资助：广西机电职业技术学院2021年资助项目(2021YKYZ008)
