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作者：张肄冕;徐方;杜振军;刘明敏;
单位：中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室;中国科学院机器人与智能制造创新研究院;中国科学院大学;沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
摘要：硅片搬运机器人被广泛应用于集成电路装备制造业，具有高洁净度、高稳定性、高精度的特点。为进一步提高控制硅片搬运机器人运行不同轨迹时的准确度与稳定性，针对已设计的R-θ型硅片搬运机器人，分析了其基本的传动结构，建立了基于CoppeliaSim与Matlab的实验仿真平台，同时采用传统D-H参数法建立了硅片搬运机器人的正、逆运动学模型，提出了基于逆向运动学的位置控制算法，成功实现机器人的运动控制，验证了求解模型的准确度。仿真实验的结果证明，该算法能够有效控制机器人的运动，具有实用性。
关键词：硅片搬运机器人;;传动结构;;D-H;;CoppeliaSim;;仿真
基金资助：辽宁省科学技术计划项目（2019JH1/10100005）;; 山东省重大科技创新工程项目（2019JZZY010128）
