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作者：王玉红;葛勇强;陈家旺;金章勇;
单位：浙江大学海洋学院;东海实验室;
摘要：为研究柔性微机电系统(MEMS)传感阵列在海底地质变形监测中的形变重构性能，研制了MEMS传感阵列样缆，并构建其形变曲线重构模型。搭建了由实验台架、步进电动机和数据采集模块等组成的MEMS传感阵列的形变监测与重构实验系统。通过实验获取不同状态下传感阵列形变曲线重构模型数据，结合实际形变数据的对比分析，验证了该传感阵列的形变监测与重构能力。该实验的开展能够加深学生对MEMS设计、传感器信号采集与处理等知识的理解。
关键词：微机电系统传感阵列;;形变监测与重构;;实验设计
基金资助：国家自然科学基金项目(41976055);; 浙江省重点研发计划项目(2024SSYS0089)
