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机械设计与制造2024年第03期:压电陶瓷驱动的MEMS微结构底座激励方法研究

来源:期刊VIP网 时间:


作者:佘东生;陈亚男;田江平;

单位:渤海大学控制科学与工程学院;大连理工大学能源与动力学院;

摘要:介绍了基于压电陶瓷底座激励方法的发展现状,总结了激励方法在具体实现方式上存在的问题。压电陶瓷在工作过程中会受到横向剪切力作用,导致压电陶瓷的损坏;弹性底座反复变形会导致微结构脱落。设计了一种由带有球冠状凹槽的上联接块和带有球冠状凸起的下联接块组成的点接触式可动底座结构,并设计了一种由圆柱安装体和三个安装臂组成的弹性底座,制作了基于压电陶瓷的底座激励装置,搭建了微结构动态特性测试系统,并对两种微结构的动态特性进行了测试实验,结果表明改进后的压电陶瓷底座激励装置可以有效的实现对微结构的激励。

关键词:激励方法;;压电陶瓷;;底座结构;;动态特性测试

基金资助:辽宁省自然科学基金资助计划(2019-MS-007);; 国家自然科学基金面上项目(52071064)